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      真空爐氦質譜檢漏

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          晶體生長在高真空的環境下進行材料催化，晶體生長，所使用真空爐需要達到E-3pa的真空度。之前設備真空度抽不上去時，是有經驗的師傅在可能的泄漏點抹丙酮，觀察電阻的變化來預估漏孔。這種方法有檢測花費時間長，精度低，較依賴師傅的經驗，無法全麵檢測等缺點。

          采用安徽水蜜桃在线视频科技有限公司的A100型水蜜桃一三四专区，采用負壓法檢漏。將檢漏儀與真空爐體通過波紋管連接。用氦氣袋向真空爐體表麵噴氦。因為爐體內外存在壓差，氦氣會通過漏孔進入真空爐體內部，最終被氦檢儀捕捉到，如果氦檢儀報警，說明此處有泄漏。這種方法具有檢測精度高，靈敏度高，花費時間短等優點。


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