電磁閥是用電磁控製的工業設備，是用來控製流體的自動化基礎元件，屬於執行器，可以配合不同的電路來實現預期的控製，而控製的精度和靈活性都能夠保證。不同的電磁閥在控製係統的不同位置發揮作用，最常用的是單向閥、安全閥、方向控製閥等。

（電磁閥）

      電磁閥閥芯檢漏原因是由於半導體工業上用的氣體如矽烷、氨氣等等都是有毒或有腐蝕性的氣體，所以對所用的閥及相關部件， 漏率要求非常嚴格， 要求成品最終漏率低於5-10 mbarl/s， 而這樣的漏率要求也隻有水蜜桃一三四专区能達到了。電磁閥閥芯檢漏方法，是來料先用放大鏡目視檢測， 閥芯鐳射焊接完成後再目視檢測，最後用氦質譜檢漏儀檢漏，漏率值以檢漏儀檢測的數據作為標準。

（水蜜桃一三四专区現場應用）

       電磁閥閥芯檢漏操作說明，1、先將閥接入工裝，形成一個密閉的腔體.再將水蜜桃一三四专区連接到工裝上。2、啟動水蜜桃一三四专区，檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體，同時顯示一個漏率值。3、在激光焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣，同時觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無變化。4、如果漏率值上升，說明噴氦氣的地方有漏，該被檢對象質量不合格，如果漏率值能達到要求，該被檢對象合格，檢漏檢測完成。

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